激光干涉儀采用激光干涉法測量，可快速、高精度測量，可作為校驗臺、坐標測量機等定位設備精度和線性指標Z的常用標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧，使測量工作事半功倍。

在實用激光干涉儀中，應確定每個測量應用程序的真實精度，以確保測量數據的準確性和可靠性。由于激光干涉系統的測量讀數Z的值與激光波長有關，激光頻率的準確性和穩定性是激光干涉測量精度的保證。此外，環境條件補償系統（壓力、溫）測量系統的準確性直接影響到Z終端的測量精度。

綜上所述，影響激光干涉儀測量精度的主要因素有:①激光頻率(波長)和頻率穩定性；②測量軟件系統引起的誤差；③反射鏡。角錐棱角誤差；④溫濕度。壓力傳感器誤差；當然，測量工作的準確性與測量人員、現場環境條件等因素有關。

激光干涉儀的使用注意事項。

1、激光干涉測試儀必須由專人保管，機械技術組必須由專人檢查，其他人不得隨意使用，以防損壞，降低精度。

2、激光干涉儀應設置專用倉庫，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器必須保持干燥。所有儀器都不能被壓制。當受潮或溫度過高時，儀表箱不能靠近爐子或加熱管。

3、小心輕放置激光干涉儀，避免強沖擊振動。放置儀器前，檢查腳架是否牢固。員工在整個操作過程中不得離開儀器，以防發生事故。

4、當溫度變化較大且有風時，應避免激光干擾。在潮濕的環境中，這一過程將對測試結果產生重大影響。