激光干涉儀以光波為載體，測量精度高，測量速度快，測量范圍大，其光波長可直接定義為米，并可追溯到標準。所以激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床，精密儀器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準，以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。

激光干涉儀的工作原理

       激光干涉儀發(fā)射單頻光束，光束進入線性干涉鏡后，將光束分成兩束，然后反射回分光鏡，然后再次收集回激光干涉儀。如果不改變光程差，則在激光干涉儀和相消性干擾的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。如果光程差發(fā)生變化，將計算并用于測量兩個光程之間的差異。

當高壓連接到陽極和陰極時，激發(fā)混合氣體形成激光束，一些光通過放大激光強度傳輸?shù)捷敵黾す馐Ｆ渲校瑸榱诉_到平衡，激光管的長度由加熱器控制，以保持激光頻率的穩(wěn)定精度±0.05ppm此時，激光器可以在輸出穩(wěn)定后進行干涉測量。現(xiàn)在大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀器都使用氦霓虹燈(HeNe)激光管輸出633納米波長。

激光干涉儀的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和使用壽命都與激光干涉儀的性能有關(guān)。激光干涉儀的測量精度是激光干涉儀Z的基本參數(shù)，其頻率(波長)的準確性和穩(wěn)定性是保證。