激光干涉儀以光波為載體，以激光為長度基準(zhǔn)，精度高，高靈敏度測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床等高端設(shè)備，激光切割機(jī)，光刻機(jī)等，在計(jì)量檢定領(lǐng)域也可以展示自己的技能，今天小編就為大家介紹一些常見的案例。

1.測長機(jī)檢定

傳統(tǒng)的長長機(jī)示值誤差主要由量塊校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求較高，測量范圍大于1m長度測量機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低。激光干涉儀的校準(zhǔn)不僅可以提高效率，還可以通過環(huán)境補(bǔ)償單溫度進(jìn)行校準(zhǔn)，壓力，補(bǔ)償濕度和材料溫度，提高校準(zhǔn)精度。

2.三坐標(biāo)測量機(jī)

隨著三坐標(biāo)測量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展，采用了傳統(tǒng)的量塊技術(shù)，球板不能滿足大型三坐標(biāo)測量機(jī)的檢測要求。測量精度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適用于測量三坐標(biāo)的幾何誤差。

3.檢定位移傳感器

激光干涉儀檢定位移傳感器已成為測量精度高的發(fā)展趨勢，反應(yīng)速度快，易于數(shù)字測量。在測量過程中，設(shè)計(jì)了一個精確的導(dǎo)軌，同步檢測反射鏡和測量傳感器，形成位移傳感器自動檢定系統(tǒng)的對比激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對定長位移進(jìn)行往復(fù)試驗(yàn)。

4.圖像儀定位精度測量

傳統(tǒng)的圖像儀檢測方法采用線紋尺比對法，檢測精度低，測量系統(tǒng)誤差大，缺乏原因分析功能，改進(jìn)方向不準(zhǔn)確，檢測效率低。激光干涉儀的使用可以快速檢測圖像儀的定位誤差，計(jì)算分析測量數(shù)據(jù)，利用軟件生產(chǎn)補(bǔ)償文件快速實(shí)現(xiàn)二維平面多點(diǎn)補(bǔ)償，大大降低了設(shè)備制造過程中精度檢測的難度，提高檢測效率和補(bǔ)償效率。